Chimia depunerii straturilor atomice

Titlul original:

Chemistry of Atomic Layer Deposition

Conținutul cărții:

Această carte va ajuta atât chimiștii, cât și pe cei care nu sunt chimiști să înțeleagă elementele fundamentale ale chimiei suprafețelor și ale designului precursorilor, precum și modul în care acești precursori conduc procesele de depunere a straturilor atomice și modul în care interacțiunea dintre suprafață și precursor guvernează procesele de depunere a straturilor atomice.

Principiile care stau la baza depunerii straturilor atomice se bazează pe chimia unui precursor cu o suprafață.