Dinamica microsistemelor

Titlul original:

Microsystems Dynamics

Conținutul cărții:

Antetitlu; Prefață; Introducere în microsisteme; Tehnologii de fabricare a microsistemelor; Prezentare generală; Tehnologia de micromecanizare a suprafeței nichelului pentru fabricarea microinterruptoarelor; Litografia UV pentru fabricarea micromotoarelor; Acționări MEMS comune; Condensatoare cu plăci paralele; Acționări cu pieptene; Micromotori electrostatici; Microsisteme electrostatice; Contextul teoretic al interacțiunilor multifizice comune în microsisteme; Introducere în modelarea câmpurilor cuplate; Acționarea electrostatică și instabilitatea Pull-in; Amortizarea vâscoasă a aerului; Interacțiunile vibro-impact; Testarea experimentală a dinamicii microsistemelor; Metode de excitare a vibrațiilor; Tehnici optice de măsurare a vibrațiilor microstructurilor; Studiul macrosistemelor și microsistemelor elastice de vibro-impact; Prezentare generală a noilor efecte importante ale dinamicii neliniare în macrosistemele de vibro-impact;;Analiza dinamicii câmpului cuplat în microactuatorul electrostatic de tip contact; Modelarea și analiza numerică a interacțiunii fluidic-structural; Modelarea și analiza numerică a interacțiunii electrostatic-structural; Modelarea și analiza numerică a interacțiunii vibro-impact; Analiza numerică a micromotorului; Modelarea cu elemente finite a micromotorului; Analiza modală; Controlul micromotorului; Modelul analitic al unui micromotor; Bazele geometriei micromotorului; Analiza cuplului; Orientări privind proiectarea micromotorului; Referințe.