Epitaxy: Principii fizice și implementare tehnică

Titlul original:

Epitaxy: Physical Principles and Technical Implementation

Conținutul cărții:

Într-o manieră uniformă și cuprinzătoare, autorii descriu toate aspectele importante ale proceselor de creștere epitaxială a filmelor solide pe substraturi cristaline, de exemplu procesele în care atomii filmului în creștere imită aranjamentul atomilor substratului.

Accentul este pus pe prezentarea suficient de fundamentală și neechivocă a subiectului sub forma unei recenzii ușor de citit. O mare parte a acestei cărți se concentrează asupra problemelor de heteroepitaxie.

Sunt prezentate și discutate în detaliu cele mai importante tehnici de creștere epitaxială care sunt în prezent utilizate pe scară largă în cercetarea fundamentală, precum și în procesele de fabricație a dispozitivelor.