Filme subțiri de nitrură de aluminiu - depunere pentru fabricarea, caracterizarea și fabricarea dispozitivelor cu unde acustice de suprafață

Recenzii ale cititorilor

În prezent, nu există recenzii ale cititorilor. Evaluarea se bazează pe 2 voturi.

Titlul original:

Aluminum Nitride Thin Films - Deposition for Fabrication, Characterization and Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices

Conținutul cărții:

Filmele subțiri de nitrură de aluminiu (AlN) pot fi utilizate pentru multe aplicații de dispozitive; de exemplu, dispozitive cu unde acustice de suprafață (SAW), aplicații ale sistemelor microelectromecanice (MEMS) și aplicații de ambalare. În această lucrare, AlN este stratul critic în procesul de fabricare.

Una dintre provocări este depunerea fiabilă pe substraturi de dimensiunea unei plachete. Metoda de interes pentru depunere este pulverizarea pulsată în curent continuu. Planul (002) este planul dorit pentru proprietățile sale piezoelectrice.

Rugozitatea de suprafață a AlN depus este redusă și aderă bine la substrat. Un strat de AlN a fost depus pe un substrat UNCD/Si.

Al a fost depus pe stratul de AlN pentru a forma IDT-urile (transductoare interdigitale) pentru dispozitivele SAW. Dispozitivele SAW au fost fabricate pe substrat de cuarț - ST. Pentru a verifica funcționarea dispozitivelor SAW, acestea au fost testate cu ajutorul unui analizor de rețea.

Această carte discută aceste rezultate și parametrii pentru depunerea filmului AlN, proprietățile filmului și implicațiile pentru dispozitive. Această carte ar fi benefică pentru profesioniști, oameni de știință, ingineri și studenți absolvenți în domeniul științei și ingineriei care lucrează în domeniile semiconductorilor cu bandă largă, nitrurilor și materialelor piezoelectrice și diferitelor dispozitive cu unde acustice.