Manual de tehnologie a siliciului semiconductor

Titlul original:

Handbook of Semiconductor Silicon Technology

Conținutul cărții:

Acest manual este un rezumat cuprinzător al științei, tehnologiei și producției de materiale semiconductoare din siliciu. Fiecare proprietate cunoscută a siliciului este detaliată.

Este inclus un set complet de diagrame de fază binare. Aspectele practice precum manipularea materialelor, siguranța, reducerea impurităților și a defectelor sunt, de asemenea, discutate în profunzime. Principiile fundamentale din domeniile compușilor precursori ai siliciului, polisiliciului, creșterii cristalelor de siliciu, fabricării plăcilor, depunerii epitaxiale și CVD sunt abordate de experți în aceste domenii.

Proprietățile materialelor acoperite includ proprietățile electrice, optice și mecanice, impuritățile de nivel profund și durata de viață a purtătorilor, termochimia, precum și secțiuni specifice privind impuritățile de oxigen, carbon și azot. Cartea conține un set extins de referințe, tabele cu constantele materialelor și proprietățile siliciului, precum și o prezentare a stadiului actual al producției de materiale.