Titlul original:
Piezoelectric MEMS
Conținutul cărții:
Traductoarele electromecanice bazate pe straturi piezoelectrice și filme subțiri își găsesc în mod continuu locul în sistemele microelectromecanice (MEMS). Traductoarele piezoelectrice au un răspuns liniar la tensiune, nu au un comportament de fixare și pot furniza atât forțe de atracție, cât și de respingere. Acest lucru elimină limitările fizice inerente prezente în abordarea transductorilor electrostatici utilizați în mod obișnuit, menținând în același timp proprietăți benefice, cum ar fi funcționarea cu consum redus de energie. Pentru a exploata întregul potențial al MEMS piezoelectrice, eforturile de cercetare interdisciplinare variază de la investigarea materialelor piezoelectrice avansate, la proiectarea de noi senzori și dispozitive de acționare MEMS piezoelectrice, la integrarea dispozitivelor PiezoMEMS în sisteme complete cu putere redusă. În această ediție specială, va fi prezentată starea actuală a acestui domeniu de cercetare interesant, acoperind o gamă largă de subiecte, inclusiv, dar fără a se limita la:
- Cercetări experimentale și teoretice asupra materialelor piezoelectrice, cum ar fi AlN, ScAlN, ZnO sau PZT, PVDF, cu un accent puternic pe aplicarea dispozitivelor MEMS.
- Tehnici de depunere și sinteză pentru materiale piezoelectrice care să permită integrarea acestor materiale în procesele de fabricare a MEMS.
- Modelarea și simularea dispozitivelor și sistemelor MEMS piezoelectrice.
- Rezonatoare MEMS piezoelectrice pentru măsurarea mărimilor fizice, cum ar fi masa, accelerația, viteza de virare, presiunea și vâscozitatea sau densitatea lichidelor.
- Dispozitive MEMS optice, cum ar fi dispozitivele cu microoglindă de scanare și comutatoarele optice, bazate pe MEMS piezoelectrice.
- Dispozitive acustice, cum ar fi SAW, BAW sau FBAR și traductoare acustice, bazate pe MEMS piezoelectrice, cum ar fi microfoane sau difuzoare.
- Dispozitive piezoelectrice de captare a energiei.
- Aspecte specifice de ambalare a dispozitivelor și sistemelor piezoelectrice.
- Sisteme cu consum redus sau zero de energie, care includ senzori cu consum redus de energie combinați cu dispozitive de captare a energiei, dintre care cel puțin unul este bazat pe MEMS piezoelectrice.
