Metrologia deformării semiconductorilor: Principii și aplicații

Titlul original:

Semiconductor Strain Metrology: Principles and Applications

Conținutul cărții:

Această carte trece în revistă tehnicile majore și nou dezvoltate pentru metrologia deformării semiconductorilor.

Metrologia deformării semiconductorilor a apărut în ultimii ani ca un subiect de mare interes pentru cercetătorii implicați în caracterizarea filmelor subțiri și a dispozitivelor la scară nanometrică. Această carte utilizează o abordare tutorial pentru a explica principiile și aplicațiile fiecărei tehnici special adaptate pentru studenții absolvenți și cercetătorii postdoctorali.

Subiectele selectate includ tehnici optice, cu fascicul de electroni, cu fascicul de ioni și cu raze X de sincrotron. Spre deosebire de referințele anterioare, această carte discută în mod specific metrologia deformării aplicată dispozitivelor semiconductoare, cu profunzime și concentrare.