Microscopie electronică cu baleiaj

Titlul original:

Scanning Electron Microscopy

Conținutul cărții:

Fasciculele de electroni și ioni cu focalizare fină constituie o parte inevitabilă a metodelor și instrumentelor utilizate în diverse domenii științifice. SEM sunt bine instrumentate și completate cu tehnici și metode avansate și, prin urmare, prezintă posibilități nelimitate în domeniile măsurării cantitative a topologiilor obiectelor, imagisticii suprafețelor, efectuării analizei elementelor și caracteristicilor electrofizice locale ale structurilor semiconductoare.

Crearea de micro și nanostructuri implică utilizarea pe scară largă a fasciculului electronic fin focalizat. Această carte se concentrează pe diverse aspecte legate de microscopia electronică cu baleiaj, acoperind atât aspecte teoretice, cât și practice.

Numeroase subiecte sunt organizate în cadrul a două secțiuni, Știința materialelor și Materiale nanostructurate pentru industria electronică. Această carte include contribuții ale unor cercetători și experți renumiți în acest domeniu.