Modelarea efectelor de autoîncălzire în dispozitive la scară nanometrică

Titlul original:

Modeling Self-Heating Effects in Nanoscale Devices

Conținutul cărții:

Este general recunoscut faptul că modelarea și simularea sunt alternative preferate la abordările de încercare și eroare pentru fabricarea semiconductorilor în mediul actual, în care costul execuțiilor de proces și al seturilor de măști asociate crește exponențial cu nodurile tehnologice succesive. Prin urmare, instrumentele precise de simulare a dispozitivelor fizice sunt esențiale pentru a prezice cu exactitate performanța dispozitivelor și a circuitelor.

Modelarea termică precisă și proiectarea dispozitivelor microelectronice și a structurilor cu straturi subțiri la micro- și nanoscală reprezintă o provocare pentru inginerii electricieni, care sunt mai puțin familiarizați cu conceptele și ideile de bază privind transportul căldurii în subcontinuu. Această carte își propune să elimine acest decalaj.

Metodele eficiente de eliminare a căldurii sunt necesare pentru a crește performanța și fiabilitatea dispozitivelor. Autorii oferă cititorilor o combinație de tehnici experimentale la scară nanometrică și metode de modelare precise care trebuie utilizate pentru a determina profilul de temperatură al unui dispozitiv.