Prelucrarea straturilor atomice: Tehnologia de gravură uscată a semiconductorilor

Recenzii ale cititorilor

În prezent, nu există recenzii ale cititorilor. Evaluarea se bazează pe 2 voturi.

Titlul original:

Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology

Conținutul cărții:

Învățați despre subiecte fundamentale și avansate în gravură cu acest ghid practic

Prelucrarea straturilor atomice: Tehnologia de gravură uscată a semiconductorilor oferă o resursă practică, unică, pentru înțelegerea tehnologiilor de gravură și a aplicațiilor acestora. Distinsul om de știință, executiv și autor oferă cititorilor informații detaliate despre diferitele tehnologii de gravură utilizate în industria semiconductorilor, inclusiv gravura termică, cu strat atomic izotrop, radicală, asistată de ioni și cu ioni reactivi.

Cartea începe cu o scurtă istorie a tehnologiei de gravură și a rolului pe care aceasta l-a jucat în revoluția tehnologiei informației, împreună cu o colecție de terminologie frecvent utilizată în industrie. Se trece apoi la discutarea unei varietăți de tehnici diferite de gravură, înainte de a se încheia cu discuții despre fundamentele proiectării reactoarelor de gravură și subiecte nou apărute în domeniu, cum ar fi rolul jucat de inteligența artificială în tehnologie.

Prelucrarea straturilor atomice include și o mare varietate de alte subiecte, toate acestea contribuind la obiectivul autorului de a oferi cititorului o înțelegere la nivel atomic a tehnologiei de gravură uscată, suficientă pentru a dezvolta soluții specifice pentru tehnologiile semiconductoare existente și emergente. Cititorii vor beneficia de:

⬤ O discuție completă a fundamentelor modului de îndepărtare a atomilor de pe diverse suprafețe.

⬤ O examinare a tehnologiilor emergente de gravură, inclusiv gravura asistată de laser și fascicul de electroni.

⬤ O tratare a controlului procesului în tehnologia de gravură și a rolului jucat de inteligența artificială.

⬤ Analiza unei mari varietăți de metode de gravură, inclusiv gravură termică sau cu vapori, gravură izotropică a straturilor atomice, gravură radicală, gravură direcțională a straturilor atomice și multe altele.

Perfect pentru oamenii de știință din domeniul materialelor, fizicienii semiconductorilor și chimiștii de suprafață, lucrarea Atomic Layer Processing își va câștiga, de asemenea, un loc în bibliotecile oamenilor de știință din domeniul ingineriei din industrie și din mediul academic, precum și ale tuturor celor implicați în fabricarea tehnologiei semiconductorilor. Implicarea strânsă a autorului în cercetarea și dezvoltarea corporativă și în cercetarea academică permite cărții să ofere o abordare unică și multifațetată a subiectului.