Technologien Der Mikrosysteme

Conținutul cărții:

Cartea predă elementele de bază ale fabricării și construcției de microsisteme.

Ea poate fi împărțită în două părți. Partea I se concentrează pe procesele de microfabricare și abordează tehnologia siliciului, structurarea micromecanică (lipire anizotropică, DRIE) și procesele de lipire (lipire eutectică, lipire prin fuziune).

Partea a II-a se referă la tehnologia de asamblare și conectare pentru microsisteme și oferă cunoștințe despre principiile de asamblare a cipurilor. Aici se pune accentul pe tehnologiile de acoperire (sisteme de metalizare) și pe tehnologiile de contact (lipire, lipire, lipire).