Tehnologia de fabricare a circuitelor integrate III-V

Recenzii ale cititorilor

În prezent, nu există recenzii ale cititorilor. Evaluarea se bazează pe 2 voturi.

Titlul original:

III-V Integrated Circuit Fabrication Technology

Conținutul cărții:

Prelucrarea GaAs a ajuns la un stadiu de maturitate.

Apar noi compuși semiconductori care vor domina cercetarea viitoare privind materialele și dispozitivele, deși tehnicile de prelucrare utilizate pentru GaAs vor rămâne în continuare relevante. Această carte acoperă toate aspectele stadiului actual al tehnologiei de prelucrare a III-V, cu accent pe HBT-uri.

Ea se adresează inginerilor practicieni și studenților absolvenți, precum și inginerilor noi în domeniul procesării circuitelor integrate cu semiconductori III-V. Scopul principal al cărții este de a discuta toate aspectele procesării dispozitivelor active și pasive, de la creșterea cristalelor până la procesarea părții din spate, inclusiv litografia, gravarea și depunerea filmului.