Wafer Manufacturing: Modelarea plăcilor de siliciu monocristal

Titlul original:

Wafer Manufacturing: Shaping of Single Crystal Silicon Wafers

Conținutul cărții:

Prezintă toate etapele majore ale producției de plachete, de la cristale la plachete de bază.

Această carte prezintă mai întâi fizica, metrologia asociată, modelarea procesului și cerințele de calitate, iar apoi discută despre tehnicile de formare și de pregătire a suprafeței plăcilor. Totul este completat de un capitol privind cercetarea și provocările viitoare în domeniul fabricării plăcilor.