Elipsometrie spectroscopică: Aplicație practică la caracterizarea straturilor subțiri

Recenzii ale cititorilor

În prezent, nu există recenzii ale cititorilor. Evaluarea se bazează pe 8 voturi.

Titlul original:

Spectroscopic Ellipsometry: Practical Application to Thin Film Characterization

Conținutul cărții:

Elipsometria este o tehnică experimentală pentru determinarea grosimii și a proprietăților optice ale filmelor subțiri.

Este ideală pentru filme cu grosimi cuprinse între sub-nanometru și câțiva microni. Măsurătorile spectroscopice au extins considerabil capacitățile acestei tehnici și au introdus utilizarea sa în toate domeniile în care se găsesc filme subțiri: dispozitive semiconductoare, ecrane plate și mobile, stive de acoperiri optice, acoperiri biologice și medicale, straturi de protecție și multe altele.

Deși există mai multe cărți savante pe această temă, această carte oferă o bună introducere în teoria de bază a tehnicii și în aplicațiile sale comune. Publicul țintă nu este savantul în elipsometrie, ci inginerii de proces și studenții în știința materialelor care sunt experți în domeniile lor și doresc să utilizeze elipsometria pentru a măsura proprietățile straturilor subțiri fără a deveni experți în elipsometrie în sine.