Ghidul utilizatorului pentru elipsometrie

Recenzii ale cititorilor

Cartea este foarte apreciată în rândul utilizatorilor pentru introducerea sa clară în elipsometrie, oferind cunoștințe practice și perspective deosebit de benefice pentru începători. Ea include concepte de bază, ecuații și studii de caz, ceea ce o face un ghid cuprinzător, deși este limitată la măsurători cu o singură lungime de undă.

⬤ Introducere excelentă pentru novicii în ellipsometrie.
⬤ Explicații clare ale conceptelor fundamentale și ale ecuațiilor de bază.
⬤ Abordare practică a dificultăților experimentale.
⬤ Studii de caz valoroase pentru aplicarea cunoștințelor.
⬤ Preț bun și livrare rapidă.

⬤ Limitat la instrumente cu o singură lungime de undă, un singur unghi.
⬤ Nu acoperă elipsometria spectroscopică, care este din ce în ce mai frecventă.

(pe baza a 7 recenzii ale cititorilor)

Titlul original:

A User's Guide to Ellipsometry

Conținutul cărții:

Acest text de optică pentru studenții absolvenți explică modul de determinare a proprietăților și parametrilor materialelor pentru substraturi inaccesibile și filme necunoscute, precum și modul de măsurare a filmelor extrem de subțiri. Cele 14 studii de caz ilustrează conceptele și consolidează aplicațiile elipsometriei - în special în legătură cu industria semiconductorilor și cu studiile care implică coroziunea și creșterea oxizilor.

A User's Guide to Ellipsometry va permite cititorilor să treacă dincolo de aplicațiile limitate la cheie ale elipsometrelor. Pe lângă discuțiile cuprinzătoare despre măsurarea grosimii peliculei și a constantelor optice în peliculă, se analizează, de asemenea, traiectoriile parametrilor elipsometrici Del și Psi și modul în care modificările materialelor afectează parametrii.

Acest volum abordează, de asemenea, utilizarea polisiliciului, un material utilizat frecvent în industria microelectronică, și efectele rugozității substratului. Trei anexe oferă referințe utile.